저희 MEMS & Nano Engineering 연구실에서는 나노 영역의 기계, 전자, 재료, 바이오 등의 다양한 분야의 연구를 진행하고 있습니다.
핵심 연구 사항은 다음과 같습니다.

온도 및 열전도도 계측용 고성능 주사탐침열현미경(SThM) 탐침 개발
나노스케일 온도 및 열전도도 정량 분포 계측 기술 개발
열전물성 계측용 고성능 다이아몬드 열전탐침 개발
나노스케일 열전물성 정량 분포 계측 기술 개발
나노 전자 소자(nano transistor)의 에너지 전달 현상 계측 및 분석나노 발광 소자(LED)
   내부 에너지 전환 효율 분석
CNT 및 나노선 소자의 에너지 전달 현상 계측 및 분석
 Graphene의 열전달계수(thermal conductivity) 정량계측
열-화학 나노 형상화 기술(Thermo-chemical nano lithography) 개발

또한, 본 연구실은 교육부의 Brain Korea 21 사업 지원 연구실이며 국가과제인 ‘특정기초연구’ 개발사업 과제와 Engineering Research Center 과제 등 다수의 과제를 수행하였으며, 현재 삼성전자와 ‘PRAM 상용화’ 과제를, 한국표준과학연구원과 'Thermal Radiation Probe 개발’ 과제를 수행하고 있습니다.

연구에 필요한 반도체 공정에 대한 교육은 서울대 반도체 공동연구소의 교육을 통해 이루어지며, MEMS 공정수행은 서울대에 위치한 반도체 공동연구소와 KIST에 위치한 Nano-Fab 에서 이루어집니다.

나노스케일의 현상 관찰을 위해 Veeco 사의 Dimension Multi mode 5 AFM 을 실험실에 보유하고 있으며 나노 신호 분석을 위한 SRS사의
Lock-in Amplifier 2대와 Spectrum Analyzer등 다수의 실험기자재를 보유하고 있습니다.

본 연구실은 창의관 432호에 소재하고 있으며, 실험실은 창의관 512B호에 위치하고 있습니다.