원자 현미경(AFM: Atomic Force Microscope)은 눈으로 볼 수 없는 나노 세계를 아주 미세한 팁을 사용하여 물체 표면의 형상, 단단한 정도, 전기, 자기적 특성을 측정할 수 있는 계측기로 머리카락의 굵기…

SSM 방법을 위해서는 매우 특수한 탐침이 필요하다. 열전 계수를 측정하고자 하는 대상은 대부분이 반도체물질인데 가장 널리 사용되는 실리콘을 비롯한 여러 반도체 물질은 공기중에서 표면이 매우 얇게 …

1990년 Cahill이 발표한 3ω method는 반도체 공정에서 쓰이는 유전체(Dielectric solids)의 열전도도를 계측할 수 있는 실험기법이다. 먼저 fig. 1(a)에 나와있는 그림처럼 계측하고자 하는 샘플 위에 히…

본 연구진은 현재 세계 최고 수준의 가장 높은 공간 정밀도(온도-50 nm, 열전도도-150nm)로 온도와 열전도도를 정량적으로 계측 할 수 있는 고성능 주사탐침열현미경 탐침과 정량적 계측 기법인 이중주사…

나노열전재료는 초격자(superlattice)나 양자점(Quantum dot), 나노선(Nanowire)등의 구조로 일반적인 벌크 상태의 물질보다 훨씬 높은 효율을 갖게 되어 최근 가장 각광받는 연구 분야 중 하나이다. 자연…