°í·Á´ëÇб³ MEMS & Nano Engineering Lab

·Î±×ÀΠȸ¿ø°¡ÀÔ ID/PW ã±â »çÀÌÆ®¸Ê

 

 

 

Home > Research > ÀÀ¿ë¿¬±¸

 
 
Thermo-chemical nanolithography
±Û¾´ÀÌ : Master ³¯Â¥ : 2010-07-15 (¸ñ) 11:52 Á¶È¸ : 969





º» ¿¬±¸ÁøÀº Çöó½ºÆ½À̸鼭µµ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Æ¯¼ºÀ» °®´Â °ø¾× °íºÐÀÚ(conjugated polymer) ¹Ú¸·À» 10 nm ÀÇ Á¤¹Ðµµ·Î ÆÐÅÏÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿­È­ÇÐ ³ª³ë¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(thermochemical nanolithography) ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù.

°ø¾× °íºÐÀÚ¿¡ È­ÇÐÀû ¶Ç´Â Àü±â È­ÇÐÀû ¹æ¹ýÀ» ÅëÇØ µµÇÎ(doping)À» Çϸé Àü±â Àüµµµµ¸¦ ºÎµµÃ¼¿¡¼­ µµÃ¼ ¿µ¿ª±îÁö Á¶ÀýÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ Àüµµ¼º °íºÐÀÚ(conducting polymer)¶ó°íµµ ºÒ¸°´Ù. ÀÌ¿Í °°ÀÌ °ø¾× °íºÐÀÚ´Â Çöó½ºÆ½ÀÇ ÀåÁ¡¿¡ ±Ý¼Ó ¶Ç´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Æ¯¼ºÀÌ °áÇÕµÈ ¹Ì·¡Çü ¼ÒÀç·Î½á ÃÖ±Ù ³ì»ö ¼ºÀå Àü·«ÀÇ Áß½ÉÀΠžçÀüÁö, ¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå(light emitting diode, LED) ºÐ¾ß»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¼¼Æ÷ °øÇÐ, Á¶Á÷ °øÇаú °°Àº »ý¸í°øÇп¡µµ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ´ë·® »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ°í ±¸Á¶ º¯ÇüÀÌ ½±±â ¶§¹®¿¡ ¹Ì·¡Çü À¯±âÀüÀÚ¼ÒÀç·Î Ã˸Á¹Þ°í ÀÖ´Ù.

°ø¾× °íºÐÀÚ ³ª³ë¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀº ³ª³ë °øÇаú °íºÐÀÚ °øÇÐÀÇ À¶ÇÕÀ» ÅëÇÑ °íºÐÀÚ ³ª³ëÀç·á ¹× ³ª³ë¼ÒÀÚ °³¹ß¿¡ À־ ÇÙ½ÉÀûÀ¸·Î ¿ä±¸µÇ´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ÃÖ±ÙÀÇ ¿¬±¸ °á°úµé·ÎºÎÅÍ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÃÖ±Ù 100 nm ÀÌÇÏÀÇ Æ¯¼º±æÀ̸¦ °¡Áö´Â °ø¾× °íºÐÀÚ ³ª³ë¹Ú¸· ¹× ³ª³ë¼±(nanowire)ÀÌ È­ÇÐ ¼¾¼­, ¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­, Æ®·£Áö½ºÅÍ, 1Â÷¿ø ±¸Á¶¿¡¼­ÀÇ ¿¡³ÊÁö Àü´Þ Çö»ó ºÐ¼® µî¿¡¼­ ÇÙ½É ±¸Á¶·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ¿¡ µû¸¥ ³ª³ë ¹Ú¸· ¹× ³ª³ë¼± Á¦ÀÛ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸µµ È°¹ßÈ÷ ÀÌ·ïÁö°í ÀÖ´Ù.

¿­È­ÇÐ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ´Â ±âÁ¸ÀÇ ´Ù¸¥ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿¡ ºñÇØ Å« ÀåÁ¡µé(¨ç ¸Å¿ì ºü¸¥ ÆÐÅϼӵµ, ¨è 10 ~ 100 nm ÀÇ °íÇØ»óµµ, ¨é ´Ù¾çÇÑ ½ÇÇè ȯ°æ¿¡¼­ÀÇ ±â´É¼º, ¨ê ³ôÀº ½Å·Ú¼º, ¨ë °øÁ¤ÀÇ Æí¸®¼º)À» °¡Áö´Â ¸Å·ÂÀûÀÎ ±â¼úÀÌ´Ù. º» ¿¬±¸ÁøÀº ÃÖ»óÀÇ Á¤¹Ðµµ¿Í Çػ󵵷Π¿Âµµ Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÑ, º» ¿¬±¸ÁøÀÌ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ³ª³ë¿­ÀüŽħÀ» È°¿ëÇÏ¿© °íÇ°ÁúÀÇ °ø¾× °íºÐÀÚ¸¦ ÆÐÅÏÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿­È­ÇÐ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀ» ±¸ÇöÇÏ°í À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î °íºÐÀÚ ³ª³ë¼± ¹× °íºÐÀÚ ¼¾¼­¸¦ Á¦ÀÛÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù.