°í·Á´ëÇб³ MEMS & Nano Engineering Lab

·Î±×ÀΠȸ¿ø°¡ÀÔ ID/PW ã±â »çÀÌÆ®¸Ê

 

 

 

Home > Research > ÀÀ¿ë¿¬±¸

 
   
³ª³ëÀüÀÚ¼ÒÀÚ ¿¡³ÊÁö Àü´ÞÇö»ó ºÐ¼®
±Û¾´ÀÌ : Master ³¯Â¥ : 2010-07-15 (¸ñ) 14:39 Á¶È¸ : 1108



³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ¶õ ³ª³ë ½ºÄÉÀÏÀÇ Å©±â¸¦ °¡Áø Á¤º¸ Àü´Þ ¼ÒÀÚ ÀÌ´Ù.
´ëÇ¥ÀûÀÎ ³ª³ë ÀüÀÚ¼ÒÀڷδ CPU °¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ´Â ³ª³ë °øÇÐÀÇ ¹ß´Þ·Î ÀÎÇÏ¿© ³¡ÀÓ¾ø´Â ¹ßÀüÀ» ÀÌ·ç°í ÀÖ´Ù.
ÇöÀç ½ÃÆÇµÇ¾î ¿ì¸®°¡ ÈçÈ÷ »ç¿ëÇÏ´Â CPU ¿¡¼­ ´ÜÀ§ ¼ÒÀÚ ÇϳªÀÇ Æ¯¼º ±æÀÌ´Â 50 nm µµ µÇÁö ¾Ê´Â ¸Å¿ì ÀÛÀº Å©±â ÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼º ±æÀÌ´Â ¼ÒÀÚÀÇ ÁýÀûµµ, Áï ÇϳªÀÇ ¼ÒÀھȿ¡ Æ÷ÇÔµÈ Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ °³¼ö¿Í Á¤º¸ Àü´Þ ¼Óµµ¸¦ °áÁ¤ Áþ´Â ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ¿ä¼ÒÀ̸ç ÀÌÀÇ Ãà¼Ò´Â ´ÜÀ§ ¼ÒÀÚ ÇϳªÀÇ Å©±â¸¦ ÁÙÀÌ°í Á¤º¸ Àü´Þ ¼Óµµ¸¦ Áõ°¡ ½ÃÅ°±â ¶§¹®¿¡ ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É Çâ»óÀ¸·Î À̾îÁø´Ù.

ÇÏÁö¸¸, ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼º ±æÀÌÀÇ Ãà¼Ò´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº ÀÌÀ¯·Î ½É°¢ÇÑ ±¹¼Ò ¿­¹®Á¦¸¦ À¯¹ßÇÑ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ°ú °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼·Î ÀÌ·ç¾îÁø ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ´Â ÁÖ·Î Æ÷³í(¿øÀÚÀÇ Áøµ¿ ¿¡³ÊÁö)¿¡ ÀÇÇØ ¿¡³ÊÁö¸¦ Àü´Þ Çϴµ¥, ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ Å©±â°¡ Æ÷³íÀÇ ÀÚÀ¯À̼۰Ÿ®¿Í °°¾Æ Áö°Å³ª ÀÛ¾ÆÁö°Ô µÇ¸é ¿¡³ÊÁö Àü´ÞÀÚÀÎ Æ÷³íÀÌ ¿òÁ÷ÀÓÀ» Á¦ÇÑ ¹Þ±â ¶§¹®¿¡ ¼ÒÀÚ µ¿ÀÛÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© ¹ß»ýÇÑ ¿­ÀÌ ¿ÜºÎ·Î Àü´ÞµÇ´Âµ¥ ¾î·Á¿òÀÌ ¹ß»ýÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¿­¿¡³ÊÁö Àü´ÞÀÇ ¾î·Á¿òÀº ¼ÒÀÚÀÇ ±¹¼Ò ¿­¹ß»ý Çö»óÀ» ´õ¿í Áõ´ë½ÃÅ°°Ô µÇ°í, °á±¹ ¼ÒÀÚÀÇ ¼º´É ÀúÇÏ ¹× ÀÛµ¿ ºÒ´É »óŸ¦ À¯¹ßÇÏ°Ô µÈ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦´Â ÇöÀç ¼ÒÀÚ °³¹ßÀڵ鿡°Ôµµ Áß¿äÇÑ ÇØ°á °úÁ¦ÀÌ´Ù. À̸¦ ÇØ°áÇϱâ À§Çؼ­´Â ¿ì¼± ³ª³ë½ºÄÉÀÏÀÇ °ø°£ Çػ󵵷ΠÁ¤·®ÀûÀÎ °èÃø°ú ¼ÒÀÚÀÇ Å©±â¿¡ µû¸¥ ¿­¿¡³ÊÁö Àü´Þ Çö»óÀÇ ¾ö¹ÐÇÑ ºÐ¼±ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

ÇöÀç º» ¿¬±¸ÁøÀº ³ª³ë ½ºÄÉÀÏ¿¡¼­ ¿Âµµ ¹× ¿­Àüµµµµ¸¦ Á¤·®ÀûÀ¸·Î °èÃø ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °í¼º´ÉÁÖ»çŽħ¿­Çö¹Ì°æ Žħ°ú ÀÌÁßÁÖ»ç(»ïÁßÁÖ»ç)±â¹ýÀ» º¸À¯ ÇÏ°í ÀÖ°í, ¶ÇÇÑ ³ª³ë ½ºÄÉÀÏ¿¡¼­ ÀüÀ§ ¹× Á¤º¸ Àü´ÞÀÚÀÎ ÀüÀÚ¿Í Á¤°øÀÇ ³óµµ¸¦ °èÃø ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °í¼º´É ´ÙÀ̾Ƹóµå ¿­ÀüŽħ°ú Á¤·® °èÃø ±â¹ýÀ» º¸À¯ÇÏ°í Àֱ⠶§¹®¿¡ ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ ¿­¿¡³ÊÁö Çö»óÀ» ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ¼öÁØÀ¸·Î ºÐ¼® ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

À̸¦ À§ÇØ ¿ì¼± ½ÇÁ¦ ¼ÒÀÚ °³¹ß¿¡ È°¿ëµÇ´Â ¸ðµ¨¸µÀ» °ËÁõ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âÁØ SOI ¼ÒÀÚÀÇ ¿­¿¡³ÊÁö Àü´Þ Çö»óÀ» ¾ö¹ÐÈ÷ ºÐ¼®ÇÏ°íÀÚ ÇÏ°í, ´ÙÀ½À¸·Î ½ÇÁ¦ ÀÛµ¿ ¼ÒÀÚ¿Í Ãֽſ¡ °³¹ß ÁßÀÎ ¼ÒÀÚÀÇ ¿­¿¡³ÊÁö Àü´Þ Çö»óÀ» ºÐ¼®ÇÏ·Á ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¿¬±¸ °á°ú´Â ³ª³ë ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ °³¹ß¿¡ ÇÊ¿¬ÀûÀ¸·Î µÚµû¸£´Â ±¹¼Ò ¿­¹ß»ý ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ¿© ¼ÒÀÚ ¹ßÀü¿¡ Å©°Ô ±â¿© Çϸç, µ¿½Ã¿¡ ³ª³ë ½ºÄÉÀÏÀÇ ¿¡³ÊÁö Àü´ÞÀÚÀÎ Æ÷³í, ÀüÀÚ, Á¤°ø µîÀÇ ¹Ì¼¼ °Åµ¿À» ºÐ¼®ÇÏ¿© ³ª³ë ¿­°øÇп¡µµ Å©°Ô ±â¿© ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.