SThM 분야에서 세계 최고 수준의 연구 성과를 내고 있는 본 연구팀이 10년 이상 집중적인 연구를 통하여 축적한 연구 성과를 바탕으로 세계 최초로 일반 사용자도 쉽게 나노스케일에서의 온도 및 열물성을 정량적으로 계측할 수 있게 해주는 초고감도 SThM 탐침과 열분석 모듈의 상용화 개발연구를 수행한다.



  나노패턴된 금속박막 탐침, 도핑된 실리콘 탐침과 같은 기존 탐침으로는 국소 온도/열전도도를 정량적으로 계측할 수 없다. 그에 비해 본 연구진이 개발한 초고감도 SThM 탐침은 온도 계측 원리 및 열적 설계에 있어서 기존 상용 제품들에 비해서 압도적으로 우수하다.


  
   하지만 탐침 제작 기술은 수율이 10% 미만으로서 상용화하기에는 곤란하다. 우리는 초고감도 SThM 탐침의 MEMS 일괄제작공정의 제작 수율을 70% 이상으로 높이는 상용화 연구와 온도 계측 잡음이 0.1도 이하 수준의 사용자 편의성이 극대화된 열분석 모듈을 개발한다.